近年，尤其是2007年以来，我国多晶硅工业有着迅猛的开展。1000 t以上等级多晶硅出产设备连续建成。多晶硅的损害首要在其出产的悉数进程中有氢气、液氯、三氯氢硅等有害于人体健康的物质生成，出产的悉数进程中又存在火灾、爆破、中毒、窒息、触电损伤等许多风险要素。
多晶硅出产的悉数进程中首要风险、有害于人体健康的物质中氯气、氢气、三氯氢硅、氯化氢等首要风险特性有：
１）氢气：与空气混合能构成爆破性混合物，遇热或明火即会产生爆破。气体比空气轻，在室内运用和贮存时，漏气上升停留房顶不易排出，遇火星会引起爆破。氢气与氟、氯、溴等卤素会剧烈反响。
２）氧气：易燃物、可燃物焚烧爆破的基本要素之一，能氧化大多数活性物质。与易燃物(如乙炔、甲烷等)构成有爆破性的混合物。
３）氯：有刺激性气味，能与许多化学品产生爆破或生成爆破性物质。简直对金属和非金属都起腐蚀效果。属高毒类。是一种激烈的刺激性气体。
４）氯化氢：无水氯化氢无腐蚀性，但遇水时有强腐蚀性。能与一些活性金属粉末产生反响，放出氢气。遇氰化物能产生剧毒的氰化氢气体。
５）三氯氢硅：遇明火激烈焚烧。受高热分化产生有毒的氯化物气体。与氧化剂产生反响，有焚烧风险。极易蒸发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。焚烧(分化)产品:氯化氢、氧化硅。
７）氢氟酸：腐蚀性极强。遇H发泡剂当即焚烧。能与一般金属产生反响,放出氢气而与空气构成爆破性混合物。
８）硝酸：具有强氧化性。与易燃物(如苯)和有机物(如糖、纤维素等)触摸会产生剧烈反响，乃至引起焚烧。与碱金属能产生剧烈反响。具有强腐蚀性。
火灾、爆破、中毒是多晶硅项目在出产中的首要风险、有害要素，别的，还存在触电、机械损伤、腐蚀、粉尘等风险、有害要素。首要有：
２）氯化氢组成：氯化氢组成炉、氯气、氢气缓冲罐等，火灾爆破、中毒、触电。
３）三氯氢硅组成：三氯氢硅组成炉、组成气洗刷塔、供料机等，火灾爆破、中毒、腐蚀、触电、机械损伤、粉尘。
４）组成气别离：混合气洗刷塔、氯化氢吸收塔、氯化氢解析塔、混合气压缩机等，火灾爆破、中毒、腐蚀、触电、机械损伤。
５）氯硅烷别离：精馏塔、再沸器、冷凝气等，火灾爆破、中毒、腐蚀、触电、机械损伤。
６）三氯氢硅复原：三氯氢硅汽化器、复原炉、复原炉冷却水循环泵等，火灾爆破、中毒、腐蚀、触电、机械损伤。
７）复原尾气别离：混合气洗刷塔、混合气压缩机、氯化氢吸收塔等，火灾爆破、中毒、腐蚀、触电、机械损伤。
８）四氯化硅氢：化四氯化硅汽化器、氢化炉等，火灾爆破、中毒、腐蚀、触电、机械损伤。
经过以上剖析，火灾爆破、化学中毒是首要潜在风险、有害要素，在工艺、设备、设备和防护方面存在危险和缺点时，很简单产生，所以应针对有几率产生的原因，采纳防范措施预以活跃扫除。对出产的悉数进程尽量选用自动控制系统，进步自动控制水平；在氯气、氯化氢、三氯氢硅、盐酸、四氯化硅简单走漏的部位，加强通风并设置可燃、有毒气体检测报警设备；为作业人员配发合格适合的防毒、防尘、防灼伤等防护用品，来防止多晶硅带来的损害。